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1、压电纳米定位台在力的闭环控制、3D微纳打印、荧光显微镜、三维显微成像、光刻、干涉等多个领域具有重要应用。通过精确调整光学元件的位置与材料位置,实现高精度的表面微加工、光学路径传输与聚焦、材料的微纳加工与光学检测、纳米结构的制作与图像的纳米级精度加工。
2、**PZT压电陶瓷系列**:包括单层、多层和复合结构,分别适用于超声振动和微纳米级精确定位。单层适合高频率应用,多层则以行程大、精度高为特点。 **压电陶瓷促动器系列**:封装式,能产生大出力,适用于机床和振动绝缘等应用,有闭环反馈选项,提高精度。
3、芯明天P12A压电扫描台在飞秒激光刻蚀应用中的角色至关重要。P12A系列压电扫描台与载物台固定连接在一起,在控制信号作用下,带载金属、玻璃等材料进行多维度的运动,进行刻蚀。
4、压电纳米定位台如P60.X250,具有大行程和高精度,适合低温真空环境。三维压电物镜定位器和强磁兼容的中空纳米定位台也适合低温真空,提供微纳米级的精确运动能力。
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